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Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD 会议论文
THIN SOLID FILMS, 395 (1-2), KANAZAWA, JAPAN, NOV 14-17, 2000
作者:  Feng Y;  Zhu M;  Liu F;  Liu J;  Han H;  Han Y;  Zhu M Chinese Acad Sci Grad Sch Dept Phys POB 3908 Beijing 100039 Peoples R China.
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Poly-si  Structure  Hot-wire  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (Pecvd)  Chemical-vapor-deposition  Microcrystalline Silicon  Hydrogen