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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhi, Yu-Song;   Jiang, Wei-Yu;   Liu, Zeng;   Liu, Yuan-Yuan;   Chu, Xu-Long;   Liu, Jia-Hang;   Li, Shan;   Yan, Zu-Yong;   Wang, Yue-Hui;   Li, Pei-Gang;   Wu, Zhen-Ping;   Tang, Wei-Hua
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zeng Liu;   Shan Li;   Zuyong Yan;   Yuanyuan Liu;   Yusong Zhi;   Xia Wang;   Zhenping Wu;   Peigang Li ;   Weihua Tang
Adobe PDF(5108Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2021/06/28
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zeng Liu;   Yusong Zhi;   Shan Li;   Yuanyuan Liu;   ;   Xiao Tang;   Zuyong Yan;   Peigang Li;   Xiaohang Li;   Daoyou Guo;   Zhenping Wu;   Weihua Tang
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采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081983.5, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  唐龙娟;  杨晋玲;  解婧;  李艳;  杨富华
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采用13.56MHz射频功率源淀积氮化硅薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081224.9, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  李艳;  杨富华;  唐龙娟;  朱银芳
Adobe PDF(311Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1947/262  |  提交时间：2011/08/31