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| 一种纳米尺寸空气槽的制作方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2009-05-06, 公开日期: 3993 发明人: 屠晓光; 陈少武
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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: 陈少武 ; 余金中; 徐学俊; 黄庆忠; 余和军; 屠晓光; 李运涛![](/image/person.jpg)
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| 一种纳米尺寸三角形空气槽的制作方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2008-12-17, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 屠晓光; 陈少武
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| 一种制作纵向双栅金属-氧化物-半导体器件的方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2008-05-07, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 屠晓光; 陈少武
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| SOI 光波导电光调制器研究 学位论文 , 北京: 中国科学院半导体研究所, 2008 作者: 屠晓光
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| 一种硅基并联MOS电容结构高速电光调制器及制作方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2007-02-07, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 屠晓光; 陈少武
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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Tu Xiaoguang; Zhao Lei ; Chen Ping ; Chen Shaowu ; Zuo Yuhua ; Yu Jinzhong; Wang Qiming
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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: 屠晓光; 陈少武 ; 余金中
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