×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
登录
中文版
|
English
中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
ALL
ORCID
题名
作者
学科领域
关键词
文献类型
出处
收录类别
出版者
发表日期
存缴日期
资助项目
学科门类
学习讨论厅
图片搜索
粘贴图片网址
首页
研究单元&专题
作者
文献类型
学科分类
知识图谱
新闻&公告
在结果中检索
研究单元&专题
半导体材料科学中心 [4]
作者
段瑞飞 [2]
羊建坤 [1]
吴猛 [1]
文献类型
专利 [3]
期刊论文 [1]
发表日期
2011 [1]
语种
中文 [4]
出处
半导体技术 [1]
资助项目
收录类别
CSCD [1]
资助机构
基金 [1]
×
知识图谱
SEMI OpenIR
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
帮助
限定条件
语种:中文
专题:半导体材料科学中心
第一作者的第一单位
第一作者单位
通讯作者单位
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
期刊影响因子升序
期刊影响因子降序
WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
题名升序
题名降序
无权访问的条目
期刊论文
作者:
吴猛
;
曾一平
;
王军喜
;
胡强
Adobe PDF(847Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:1548/537
  |  
提交时间:2012/07/16
一种化学气相沉积装置
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010162506.4, 公开日期: 2011-08-31
发明人:
段瑞飞
;
曾一平
;
王军喜
;
冉军学
;
胡国新
;
羊建坤
;
梁勇
;
路红喜
;
李晋闽
Adobe PDF(392Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:1746/272
  |  
提交时间:2011/08/31
一种用于金属有机物化学气相沉积设备的进气喷头结构
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010269018.3, 公开日期: 2011-08-31
发明人:
冉军学
;
胡国新
;
梁勇
;
王军喜
;
段瑞飞
;
曾一平
;
李晋闽
Adobe PDF(756Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:1477/250
  |  
提交时间:2011/08/31
用于金属化学气相沉积设备反应室的进气喷淋头
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102492937A, 公开日期: 2012-08-29, 2012-08-29, 2012-08-29
发明人:
冉军学
;
胡强
;
梁勇
;
胡国新
;
王军喜
;
曾一平
;
李晋闽
Adobe PDF(573Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:2093/450
  |  
提交时间:2012/08/29