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作者:  Feng, C;  Wang, XL;  Yang, CB;  Xiao, HL;  Zhang, ML;  Jiang, LJ;  Tang, J;  Hu, GX;  Wang, JX;  Wang, ZG;  Feng, C, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: cfeng@semi.ac.cn
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In-situ Boron-doped Low-stress LPCVD Polysilicon for Micromechanical Disk Resonator 会议论文
2008 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED-CIRCUIT TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 20-23, 2008
作者:  Liu, YF;  Xie, J;  Yang, JL;  Tang, LJ;  Yang, FH;  Liu, YF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
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