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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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可提高砷化铝氧化均匀性的外延片承载装置
专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2006-05-03, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
佟存柱
;
牛智川
;
韩勤
;
杜云
;
吴荣汉
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Xiong YH (Xiong Yong-Hua)
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Niu ZC (Niu Zhi-Chuan)
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Wu RH (Wu Rong-Han)
;
Yang, XH, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, Beijing 100083, Peoples R China. E-mail: xhyang@red.semi.ac.cn
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;
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韩勤
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;
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提交时间:2010/11/23
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提交时间:2010/11/23