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一种新型键合用晶向对准装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2006-11-08, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  陈良惠;  郑婉华;  杨国华;  何国荣;  王玉平;  曹青;  郭良;  林学春
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一种利用激光对准晶片晶向的方法及装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-10-11, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  陈良惠;  郑婉华;  杨国华;  何国荣;  王玉平;  曹青;  郭良;  林学春
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yang CL;  He HT;  Ding L;  Cui LJ;  Zeng YP;  Wang JN;  Ge WK;  Ge, WK, Hong Kong Univ Sci & Technol, Dept Phys, Hong Kong, Hong Kong, Peoples R China. E-mail: phweikun@ust.hk
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