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| 4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 郭志煜 Adobe PDF(10262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:444/2  |  提交时间:2022/07/26 |
| 4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 郭志煜 Adobe PDF(10262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:504/3  |  提交时间:2022/07/15 |
| N型注入4H-SiC脉冲激光退火激活研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 武婧敏 Adobe PDF(5212Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:430/3  |  提交时间:2022/07/15 |
| 碳化硅超级结结构关键工艺研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 田润 Adobe PDF(4990Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:638/3  |  提交时间:2021/06/17 |
| 4H-SiC UMOSFET关键工艺研发 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019 作者: 刘敏 Adobe PDF(5200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:673/21  |  提交时间:2019/11/18 |