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可级联椭圆结构AlN BAW谐振器研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨帆
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zeji Chen ;   Fengxiang Wang ;   Quan Yuan ;   Xiao Kan ;   Jinling Yang ;   Jicong Zhao ;   Fuhua Yang
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