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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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研究单元&专题
中国科学院半导体研究... [7]
作者
陈平 [1]
文献类型
期刊论文 [6]
会议论文 [1]
发表日期
2008 [7]
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2008 3RD I... [1]
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发表日期:2008
专题:中国科学院半导体研究所(2009年前)
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无权访问的条目
期刊论文
作者:
Xu, XS
;
Yamada, T
;
Ueda, R
;
Otomo, A
;
Xu, XS, Natl Inst Informat & Commun Technol, Kobe Adv Res Ctr, Nishi Ku, 588-2 Iwaoka, Kobe, Hyogo 6512492, Japan. 电子邮箱地址: xsxu@red.semi.ac.cn
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提交时间:2010/03/08
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Ding WC
;
Hu D
;
Zheng J
;
Chen P
;
Cheng BW
;
Yu JZ
;
Wang QM
;
Ding, WC, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: wcd04@semi.ac.cn
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提交时间:2010/03/08
Fracture properties of PECVD silicon nitride thin films by long rectangular memrane bulge test
会议论文
2008 3RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, Sanya, PEOPLES R CHINA, JAN 06-09, 2008
作者:
Zhou, W
;
Yang, JL
;
Li, Y
;
Yang, FH
;
Yang, JL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100864, Peoples R China.
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提交时间:2010/03/09
Bulge Test
Fracture Property
Silicon Nitride
Weibull Distribution Function
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Yang, JL
;
Gaspar, J
;
Paul, O
;
Yang, JL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: paul@imtek.de
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提交时间:2010/03/08
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Yuan, YG
;
Zhang, Y
;
Chu, KH
;
Li, XY
;
Zhao, DG
;
Yang, H
;
Yuan, YG, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Tech Phys, State Key Labs Transducer Technol, Shanghai 200083, Peoples R China. 电子邮箱地址: yyg@mail.sitp.ac.cn
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提交时间:2010/03/08
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Luo, WJ
;
Wang, XL
;
Guo, LC
;
Xiao, HL
;
Wang, CM
;
Ran, JX
;
Li, JP
;
Li, JM
;
Luo, WJ, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: luoweijun@mail.semi.ac.cn
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提交时间:2010/03/08
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期刊论文
作者:
王国立
;
郭亨群
;
苏培林
;
张春华
;
王启明
;
徐骏
;
陈坤基
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提交时间:2010/11/23