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限定条件 ((文献类型:期刊论文) AND (发表日期:2021) AND (出处:MICROMACHINES))
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中国科学院半导体研究所 12 半导体集成技术工程研究中心 6 光电子研究发展中心 2
半导体超晶格国家重点实验室 1 中科院半导体照明研发中心 1 中科院半导体材料科学重点实验室 1
固态光电信息技术实验室 1