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中国科学院半导体研究所 127 中科院半导体材料科学重点实验室 45 中国科学院半导体研究所(2009年前) 44
半导体超晶格国家重点实验室 10 光电子研究发展中心 8 半导体集成技术工程研究中心 8
光电子器件国家工程中心 4 光电系统实验室 4 集成光电子学国家重点实验室 3
高速电路与神经网络实验室 1