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中国科学院半导体研究所 115 中国科学院半导体研究所(2009年前) 88 半导体集成技术工程研究中心 7
纳米光电子实验室 6 中科院半导体材料科学重点实验室 5 集成光电子学国家重点实验室 3
光电系统实验室 3 光电子研究发展中心 1 光电子器件国家工程中心 1
全固态光源实验室 1