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中国科学院半导体研究所 354 中国科学院半导体研究所（2009年前） 157 半导体集成技术工程研究中心 43
中科院半导体材料科学重点实验室 40 半导体超晶格国家重点实验室 22 中科院半导体照明研发中心 22
高速电路与神经网络实验室 18 纳米光电子实验室 12 全固态光源实验室 12
光电子研究发展中心 11 光电系统实验室 5 集成光电子学国家重点实验室 4
光电子器件国家工程中心 4 半导体材料科学中心 3 固态光电信息技术实验室 1