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中国科学院半导体研究所 31 半导体超晶格国家重点实验室 10 光电子研究发展中心 8
中国科学院半导体研究所（2009年前） 6 中科院半导体材料科学重点实验室 3 半导体集成技术工程研究中心 1
纳米光电子实验室 1 光电系统实验室 1 高速电路与神经网络实验室 1