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中国科学院半导体研究所 57 中国科学院半导体研究所（2009年前） 16 纳米光电子实验室 13
光电系统实验室 12 中科院半导体材料科学重点实验室 7 半导体集成技术工程研究中心 5
集成光电子学国家重点实验室 4