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中国科学院半导体研究所 83 中国科学院半导体研究所（2009年前） 22 半导体超晶格国家重点实验室 22
光电子研究发展中心 20 中科院半导体材料科学重点实验室 14 集成光电子学国家重点实验室 3
纳米光电子实验室 1 固态光电信息技术实验室 1