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中国科学院半导体研究所 120 中国科学院半导体研究所(2009年前) 91 半导体超晶格国家重点实验室 15
中科院半导体材料科学重点实验室 8 集成光电子学国家重点实验室 3 纳米光电子实验室 2
高性能集成电路实验室 1