共49条，第1-20条
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国家自然科学基金
6
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国家973计划,国家自然科学基金
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国家自然科学基金,国家重大基础研究项目
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国家自然科学基金资助项目,国家重点基础研
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国家重点基础研究发展计划,国家高技术研究
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国家高技术研究发展计划资助项目
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集成光电子国家重点实验室(中国科学院半导
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863计划,973计划,国家自然科学基金
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863计划,中国科学院半导体研究所集成光
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973计划项目,863计划项目,中国科学
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973计划（2 366 4）资助项
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National Natural Sci
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This work was suppor
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半导体光子集成基础研究基金,国家自然科学
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国家"973"计划项目(G2 36
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国家"973"项目,国家"863"项目,
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国家"973计划"项目,国家"863计划
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国家863计划
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国家863项目,国家973项目,中国科学
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国家973基金（G2 366 5）
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