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中国科学院半导体研究所 200 中国科学院半导体研究所（2009年前） 65 中科院半导体材料科学重点实验室 32
光电子研究发展中心 29 半导体超晶格国家重点实验室 27 集成光电子学国家重点实验室 21
光电系统实验室 9 光电子器件国家工程中心 5 全固态光源实验室 4
中科院半导体照明研发中心 2 半导体材料科学中心 2 半导体集成技术工程研究中心 2
纳米光电子实验室 1 固态光电信息技术实验室 1