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中国科学院半导体研究所 22 中国科学院半导体研究所（2009年前） 5 半导体超晶格国家重点实验室 5
中科院半导体材料科学重点实验室 4 半导体集成技术工程研究中心 3 纳米光电子实验室 3
光电子研究发展中心 2