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中国科学院半导体研究所 18 半导体超晶格国家重点实验室 7 中国科学院半导体研究所（2009年前） 4
中科院半导体材料科学重点实验室 3 集成光电子学国家重点实验室 2 光电子研究发展中心 1
表面物理国家重点实验室 1