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中国科学院半导体研究所 61 中国科学院半导体研究所（2009年前） 50 半导体超晶格国家重点实验室 3
中科院半导体材料科学重点实验室 3 纳米光电子实验室 3 光电子研究发展中心 1
光电系统实验室 1