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中国科学院半导体研究所 32 中科院半导体材料科学重点实验室 16 集成光电子学国家重点实验室 7
半导体人工神经网络实验室 5 纳米光电子实验室 2 中国科学院半导体研究所（2009年前） 1
半导体材料科学中心 1