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中国科学院半导体研究所 982 中科院半导体材料科学重点实验室 222 中国科学院半导体研究所（2009年前） 185
光电子研究发展中心 177 中科院半导体照明研发中心 148 半导体超晶格国家重点实验室 97
半导体集成技术工程研究中心 41 固态光电信息技术实验室 37 集成光电子学国家重点实验室 30
半导体材料科学中心 17 光电子器件国家工程中心 9 纳米光电子实验室 9
北京纳米能源与系统研究所 9 高性能集成电路实验室 1 光电系统实验室 1