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中国科学院半导体研究所 4096 中国科学院半导体研究所（2009年前） 1634 半导体超晶格国家重点实验室 783
中科院半导体材料科学重点实验室 515 光电子研究发展中心 514 中科院半导体照明研发中心 175
集成光电子学国家重点实验室 162 半导体集成技术工程研究中心 145 纳米光电子实验室 46
固态光电信息技术实验室 35 光电系统实验室 23 全固态光源实验室 19
半导体材料科学中心 15 光电子器件国家工程中心 14 高速电路与神经网络实验室 11
高性能集成电路实验室 4 表面物理国家重点实验室 1