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中国科学院半导体研究所 119 中国科学院半导体研究所(2009年前) 73 中科院半导体材料科学重点实验室 15
光电子研究发展中心 10 集成光电子学国家重点实验室 9 半导体超晶格国家重点实验室 6
半导体集成技术工程研究中心 3 纳米光电子实验室 1 光电系统实验室 1
固态光电信息技术实验室 1