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中国科学院半导体研究所 134 中国科学院半导体研究所(2009年前) 42 半导体超晶格国家重点实验室 40
中科院半导体材料科学重点实验室 33 光电子研究发展中心 8 半导体材料科学中心 4
集成光电子学国家重点实验室 3 中科院半导体照明研发中心 2 高性能集成电路实验室 2