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中国科学院半导体研究所 43 中科院半导体材料科学重点实验室 22 光电子研究发展中心 13
中国科学院半导体研究所（2009年前） 3 纳米光电子实验室 3 半导体材料科学中心 1
半导体集成技术工程研究中心 1