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中国科学院半导体研究所 27 半导体超晶格国家重点实验室 10 中国科学院半导体研究所（2009年前） 4
中科院半导体材料科学重点实验室 3 全固态光源实验室 3 高速电路与神经网络实验室 3
半导体集成技术工程研究中心 2 纳米光电子实验室 2