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中国科学院半导体研究所 493 中国科学院半导体研究所（2009年前） 386 半导体集成技术工程研究中心 23
集成光电子学国家重点实验室 16 中科院半导体材料科学重点实验室 13 半导体材料科学中心 12
光电子研究发展中心 9 光电子器件国家工程中心 9 中科院半导体照明研发中心 9
半导体超晶格国家重点实验室 5 半导体人工神经网络实验室 5 纳米光电子实验室 3
高性能集成电路实验室 2 光电系统实验室 1