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中国科学院半导体研究所 93 中国科学院半导体研究所（2009年前） 60 纳米光电子实验室 15
集成光电子学国家重点实验室 8 半导体人工神经网络实验室 7 中科院半导体材料科学重点实验室 2
全固态光源实验室 1