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中国科学院半导体研究所 140 中国科学院半导体研究所(2009年前) 124 集成光电子学国家重点实验室 5
光电系统实验室 5 中科院半导体材料科学重点实验室 3 光电子研究发展中心 1
半导体材料科学中心 1 全固态光源实验室 1