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中国科学院半导体研究所 26 中国科学院半导体研究所（2009年前） 10 半导体超晶格国家重点实验室 5
半导体集成技术工程研究中心 5 纳米光电子实验室 4 集成光电子学国家重点实验室 1
中科院半导体照明研发中心 1