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中国科学院半导体研究所 9 半导体超晶格国家重点实验室 3 光电系统实验室 2
中国科学院半导体研究所(2009年前) 1 集成光电子学国家重点实验室 1 光电子器件国家工程中心 1
中科院半导体材料科学重点实验室 1