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中国科学院半导体研究所 236 中国科学院半导体研究所(2009年前) 217 光电子器件国家工程中心 9
高性能集成电路实验室 4 纳米光电子实验室 3 半导体材料科学中心 1
半导体集成技术工程研究中心 1 光电系统实验室 1