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中国科学院半导体研究所 1147 半导体超晶格国家重点实验室 253 中科院半导体材料科学重点实验室 195
中国科学院半导体研究所（2009年前） 182 光电子研究发展中心 154 中科院半导体照明研发中心 132
半导体集成技术工程研究中心 86 集成光电子学国家重点实验室 28 固态光电信息技术实验室 21
纳米光电子实验室 20 全固态光源实验室 19 光电系统实验室 17
光电子器件国家工程中心 16 北京纳米能源与系统研究所 12 半导体材料科学中心 9
高速电路与神经网络实验室 4