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中国科学院半导体研究所 834 半导体超晶格国家重点实验室 154 中科院半导体材料科学重点实验室 139
中国科学院半导体研究所（2009年前） 130 光电子研究发展中心 106 中科院半导体照明研发中心 88
半导体集成技术工程研究中心 46 全固态光源实验室 46 固态光电信息技术实验室 37
光电子器件国家工程中心 28 集成光电子学国家重点实验室 16 光电系统实验室 15
纳米光电子实验室 10 高速电路与神经网络实验室 8 半导体材料科学中心 6
北京纳米能源与系统研究所 5