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中国科学院半导体研究所 69 半导体超晶格国家重点实验室 26 中科院半导体材料科学重点实验室 16
半导体集成技术工程研究中心 16 光电子研究发展中心 8 固态光电信息技术实验室 2
半导体材料科学中心 1