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中国科学院半导体研究所 258 中国科学院半导体研究所（2009年前） 168 半导体超晶格国家重点实验室 47
中科院半导体材料科学重点实验室 21 光电子研究发展中心 6 集成光电子学国家重点实验室 5
半导体集成技术工程研究中心 3 纳米光电子实验室 2 半导体人工神经网络实验室 2
表面物理国家重点实验室 1 中科院半导体照明研发中心 1 半导体材料科学中心 1
高速电路与神经网络实验室 1