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中国科学院半导体研究所 174 中国科学院半导体研究所（2009年前） 152 集成光电子学国家重点实验室 12
半导体超晶格国家重点实验室 4 高性能集成电路实验室 4 光电子研究发展中心 1
光电系统实验室 1