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限定条件 ((文献类型：专利) AND (作者：172111000841) AND (专题：中科院半导体材料科学重点实验室))
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张兴旺 8 游经碧 3 刘德伟 2
尹志岗 2 朱小宁 2 谭海仁 1
范亚明 1 张曙光 1 梁松 1
马丽 1 黄永光 1