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限定条件	((出处：半导体学报) AND (发表日期：2007) AND (语种：中文) AND (资助机构：国家自然科学基金资助项目) AND (文献类型：期刊论文))

段瑞飞 1	王玥 1	魏同波 1
安俊明 1	张家顺 1	尹小杰 1

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