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中国科学院半导体研究所 52 中国科学院半导体研究所（2009年前） 39 半导体集成技术工程研究中心 5
纳米光电子实验室 3 中科院半导体材料科学重点实验室 2 光电系统实验室 2
全固态光源实验室 1