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National Natu-ral Sc 1 National Natural Sci 1 Special Funds for Ma 1
This work was suppor 1 the Major State Basi 1 国家973计划,国家863计划,集成光电 1
国家自然科学基金 1 国家自然科学基金,国家高技术研究发展计划 1 国家自然科学基金（批准号：6999 54 1
国家重点基础研究发展规划(编号：G2 1 国家重点基础研究发展规划资助项目（No. 1 国家重点基础研究发展计划,国家高技术研究 1