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中国科学院半导体研究所 20 中科院半导体材料科学重点实验室 11 中国科学院半导体研究所（2009年前） 3
半导体超晶格国家重点实验室 3 半导体材料科学中心 1 半导体集成技术工程研究中心 1
光电系统实验室 1