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中国科学院半导体研究所 101 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) 46 | 半导体超晶格国家重点实验室 25 |
光电系统实验室 16 | 光电子研究发展中心 6 | 中科院半导体材料科学重点实验室 4 |
光电子器件国家工程中心 1 | 半导体集成技术工程研究中心 1 | 纳米光电子实验室 1 |
高性能集成电路实验室 1 |