Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
在蓝宝石上生长大尺寸高质量氧化锌单晶厚膜的方法 | |
何金孝; 段 尭; 曾一平; 李晋闽; 王晓峰 | |
2009-07-01 | |
专利权人 | 中科院半导体研究所 |
公开日期 | 3999 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2007-12-26 |
语种 | 中文 |
专利状态 | 公开 |
申请号 | CN200710304215 |
专利代理人 | 汤宝平 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/9108 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 何金孝,段 尭,曾一平,等. 在蓝宝石上生长大尺寸高质量氧化锌单晶厚膜的方法[P]. 2009-07-01. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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