Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 在蓝宝石衬底上二次生长高质量ZnO单晶厚膜的方法 | |
| 何金孝; 段 尭; 曾一平; 王晓峰 | |
| 2009-09-23 | |
| 专利权人 | 中科院半导体研究所 |
| 公开日期 | 4007 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 申请日期 | 2008-03-19 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN200810102202 |
| 专利代理人 | 汤宝平 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/9028 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何金孝,段 尭,曾一平,等. 在蓝宝石衬底上二次生长高质量ZnO单晶厚膜的方法[P]. 2009-09-23. |
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