硅基二氧化硅阵列波导光栅的优化设计及其偏振性能的数值模拟
邓晓清
学位类型博士
导师杨沁清 ; 王启明
2003
学位授予单位中国科学院半导体研究所
学位授予地点北京
学科领域微电子学与固体电子学
语种中文
公开日期2009-04-13 ; 2009-07-09
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/5231
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
邓晓清. 硅基二氧化硅阵列波导光栅的优化设计及其偏振性能的数值模拟[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,2003.
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